专利名称:一种晶圆专利类型:实用新型专利发明人:张敬伟,那永鑫申请号:CN201820733262.2申请日:20180517公开号:CN211907412U公开日:20201110
摘要:本实用新型公开了一种晶圆,包括参考边和两组切割道;所述参考边与晶圆的晶向垂直或平行;每组切割道中的若干条切割道相互平行;不同组的切割道相互垂直;其中一组中的切割道与所述参考边的夹角在10度至80度之间。本实用新型晶圆,在进行芯片设计时,让芯片的方向与晶圆的晶向形成一定的角度,在切割时可以不用考虑材料裂开导致的芯片崩边行为;可以提高芯片成品率。
申请人:北京世纪金光半导体有限公司
地址:100176 北京市大兴区经济技术开发区通惠干渠路17号院
国籍:CN
代理机构:北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人:张永革
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