专利名称：一种适用于M10尺寸的电池片的热氧化方法专利类型：发明专利
发明人：吴中亚,曹思远,刘丹磊,陈志杰,郭万武申请号：CN202011369588.X申请日：20201130公开号：CN112420873A公开日：20210226
摘要：本发明公开了一种适用于M10尺寸的电池片的热氧化方法，包括以下步骤：S10氧化：利用氧气和保护气对依次经过制绒、扩散和刻蚀抛光工序的原硅片进行热氧化处理；S20热处理:利用保护气对氧化后的硅片进行热处理。该适用于M10尺寸的电池片的热氧化方法在热氧化过程中加入了后期热处理步骤，减小了氧化硅薄膜的热应力，提高了成膜质量，从而提升钝化效果，进一步提高了太阳能电池的光电转换效率。
申请人：中建材浚鑫科技有限公司
地址：214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号
国籍：CN
代理机构：无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙)
代理人：赵贵春
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