专利名称：一种砷化镓多晶的制作方法及装置专利类型：发明专利
发明人：向丽君,王金灵,朱凌强,周铁军,刘留,罗小龙申请号：CN201910537542.5申请日：20190620公开号：CN110144623A公开日：20190820
摘要：本发明公开了一种砷化镓多晶的制作方法及装置，该方法采用水平梯度凝固法使装有砷的氮化硼舟与装有镓的氮化硼舟在密封的石英管内反应形成砷化镓多晶；然后切割去除所述石英管的管口的石英帽，取出砷化镓多晶，并且采用的切割步骤为：将所述石英管固定在切割台上；然后将运转的锯片布置在与所述石英管上靠近所述石英帽的正下方的横截面共面的位置；最后所述锯片相对所述石英管在所述横截面所在平面内做平移靠近运动，直至所述石英管被切断。在上述制作方法中，能够有效的避免切割工序中氮化硼舟因与砷化镓多晶料频繁碰撞而导致的两端破损的问题，使得氮化硼舟的使用寿命得到有效的提升，同时还能够有效的降低石英管的管口破损率。
申请人：广东先导先进材料股份有限公司
地址：511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：李宁
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容