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洁净室系统维护标准

来源：小奈知识网

系统名称：洁净室系统序号维护内容半年半年每年每年触发条件需要配件型号风速计压差计无无数量 1 1 无无需要时间 10min/台 10min/台 7天 7天是否停机否否否是备注外包 1. 风淋室喷嘴风速检测，喷嘴风速不小于15m/s 2. FFU高效过滤器压力损失抽检 3. 洁净室夹层卫生清洁 4. 风淋室夹层清洁，空气过滤器清洁 5. 6. 7.

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