专利名称：衬底处理装置专利类型：发明专利发明人：桑原丈二
申请号：CN202011123927.6申请日：20201020公开号：CN112750722A公开日：20210504
摘要：本发明提供一种能够容易地确认是否按用户需要的规格构成的衬底处理装置。判别部(89)将来自相机(77)的机器信息与来自臂控制部(97)的检测位置信息进行比较，判别机器信息的位置信息与检测位置信息是否一致，以及将来自相机(77)的机器信息与用户规格信息存储部(87)的用户规格信息进行比较，判别机器信息与用户规格信息是否一致。当判别结果不一致时，报知部(91)发出警报。因此，能够根据报知部(91)有无发出警报来确认构成的正误，所以能够容易地确认是否按用户的规格构成。
申请人：株式会社斯库林集团
地址：日本京都
国籍：JP
代理机构：北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人：陈甜甜
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