专利名称：一种晶化纳米结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法专利类型：发明专利
发明人：王钢,陈梓敏,范冰丰,马学进申请号：CN201710585131.4申请日：20170718公开号：CN107394023A公开日：20171124
摘要：本发明公开了一种晶化纳米结构氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其包括以下步骤：生长衬底预处理、生长氧化锌种子层、第一次晶化处理、生长氧化锌电流扩展层、第二次晶化处理、生长纳米结构氧化锌表面层、第三次晶化处理。本发明制备方法通过在生长衬底上生长三层氧化锌并分别进行晶化处理而制备一种晶化纳米结构氧化锌透明导电薄膜结构，其解决了现有LED技术中TCL性能和结构不足而无法满足高亮度、大功率和高可靠性应用领域需求的问题。
申请人：佛山市中山大学研究院,中山大学
地址：528222 广东省佛山市南海区南海软件园信息大道崇贤楼A栋三层
国籍：CN
代理机构：广州圣理华知识产权代理有限公司
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