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一种连接位置可调的真空排气台[实用新型专利]

来源:小奈知识网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种连接位置可调的真空排气台专利类型:实用新型专利

发明人:刘纯,付宪阳,司媛媛,孟大伟申请号:CN201920142082.1申请日:20190125公开号:CN209586623U公开日:20191105

摘要:本实用新型公开一种连接位置可调的真空排气台,涉及真空排气台的技术领域,其包括相连通的离子泵以及真空室,还包括若干个单向阀以及真空压力计,所述真空室外还设置有至少两根导管、所述导管连接有金属软管,所述金属软管背离导管的一端连接有连接管,所述连接管背离金属软管的一端设置有用于连接的法兰。本实用新型能够改变连接管位置,以同时联通多个不同的设备的效果。

申请人:北京哲勤科技有限公司

地址:102600 北京市大兴区北京经济技术开发区景园街10号B栋1层西侧A区

国籍:CN

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