专利名称：Hollow cathode ion sources发明人：Fukui, Ryota,Takagi, Kenichi,Kikuchi,
Riichi,Takayama, Kazuo, C.I.Heights D-501,Tonegawa, Akira Daiichi Coop Izumi 205
申请号：EP88850086.5申请日：19880310公开号：EP0282467B1公开日：19930602
摘要：Array
申请人：NIHON SHINKU GIJUTSU KABUSHIKI KAISHA
地址：2500, HAGIZONO; CHIGASAKI-SHI KANAGAWA-KEN
代理机构：Roth, Ernst Adolf Michael
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