专利名称：掩模衬底检查系统专利类型：发明专利
发明人：文胜铉,梁铜彧,李铉大申请号：CN201910876987.6申请日：20190917公开号：CN110926329A公开日：20200327
摘要：公开了掩模衬底检查系统。掩模衬底检查系统包括测量目标模块、相机模块和控制模块。测量目标模块包括掩模衬底和向掩模衬底供给光的表面光源。相机模块使用来自表面光源的光来生成掩模衬底的图像信息。控制模块在不损坏掩模衬底的情况下使用图像信息来确定掩模衬底中是否存在有缺陷。
申请人：三星显示有限公司
地址：韩国京畿道
国籍：KR
代理机构：北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：杜正国
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