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功率半导体器件及其制作方法[发明专利]

来源:小奈知识网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:功率半导体器件及其制作方法专利类型:发明专利

发明人:林永发,张家豪,石逸群申请号:CN201210352599.6申请日:20120920公开号:CN103545369A公开日:20140129

摘要:本发明公开了一种功率半导体器件,包含有一具有一第一导电型的基材;一半导体层,设在所述基材上,所述半导体层具有第一导电型;多个交替排列的第一导电型掺杂沟槽及第二导电型掺杂沟槽;一第一导电型扩散区,位于各所述第一导电型掺杂沟槽周围的所述半导体层中;以及一第二导电型扩散区,位于各所述第二导电型掺杂沟槽周围的所述半导体层中,其中所述第一导电型扩散区及所述第二导电型扩散区之间构成一PN结,且PN结与所述第一导电型掺杂沟槽的距离等于所述PN结与所述第二导电型掺杂沟槽的距离。

申请人:茂达电子股份有限公司

地址:中国台湾新竹

国籍:CN

代理机构:深圳新创友知识产权代理有限公司

代理人:江耀纯

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