矽少红派占予钍２００９年第３期（总第５４期）ＳＨＡＮＸＩＥＮＥＲＧＹＡＮＤＣＯＮＳＥＲＶＡＴｌＯＮ２００９年６月高新技术超高压清洗技术的应用韩宁宇，杜立新ｉ０００００）（北京清大天达光电科技有限公司，北京摘要：叙述了采用常压喷淋清洗模式，容易在玻璃表面形成很薄的水膜，因此降低清洗效率，且用水量巨大的问题以及开发出的超高压喷淋清洗装置。不但可以提高清洗效率．也大幅降低Ｉ）Ｉ（去离子）水的使用量。关键词：超高压微细颗粒喷淋清洗（ＨＰＭＪ）；玻璃基板；清洗工艺；污染物文献标识码：Ａ中图分类号：ＴＭ６２１文章编号：１６７４．３９９７．（２００９）０３．００７６—０２ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＳｕｐｐｅｒＨｉｇｈＰｒｅｓｓｕｒｅＣｌｅａｎｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＨＡＮＮｉｎｇ—ｙｕ．ＤＵＬｉ—ｘｉｎ（ＢｅｉｊｉｎｇＱｉｎｇｄａＴｉａｎｄａＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＣｏ．。ＬＴＤ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１００００１，Ｃｈｉｎａ）Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅａｔｍｃ℃ｓｐｈｅｒｉｃｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ．ａｎｄａｔｐｒ黜ｓｕｒｅｃｌｅａｎｉｎｇｓｐｒａｙｐａｔｔｅｒｎｉｓｅａｓｙｔｏｆｏｒｍｔｈｉｎｆｉｌｍｈｉｇｈｇｌａ．Ⅲｓｓｕｒｆａｃｅａｎｄｔｏｒｅｄｕｃｅｗａｓｈｉｎｇｔｈｅｓａｍｅｔｉｍｅｉｔｓｗａｔｅｒｃｏｎｓｕｍｐｔｉｏｎｉｓｈｕｇｅ．Ｔｈｅｓｕｐｅｒｐｒｅｓｓｕｒｅｓｐｒａｙｃｌｅａｎｉｎｇｄｅｖｉｃｅｏｎｌｙｉｍｐｒｏｖｅｗａｓｈｉｎｇｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｂｕｔａｌｓｏｒｅｄｕｃｅｓｉｇｎｉｆｉｃａｎｔｌｙｔｈｅｕｓａｇｅａｍｏｕｎｔｏｆｄｅｉｏｎｉｚａｔｉｏｎｗａｔｅｒ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：Ｓｕｐｅｒｈｉｇｈｐｒｅｓｓｕｒｅｍｉｃｒｏｊｅｔ；Ｇｌａｓｓｓｕｂｓｔｒａｔｅ；Ｃｌｅａｎｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ；Ｐｏｌｌｕｔａｎｔ０引言将超高压清洗技术应用到玻璃基板的清洗工艺玻璃基板上的污染物主要来自于ＩＴ（）薄膜层、ＴＦＴ阵列等制备工艺过程以及玻璃基板的包装、搬运、运输和存储过程中。主要的污染物有尘埃粒子、纤维纸屑、矿物油或油脂等油，Ａ１２（）３、Ｓｉ０２等无机微粒以及制备过程中遗留的残留物、水迹、手指印等。在整个ＬＣＤ的清洗过程中，人们总是在围绕着上述污染物用不同的方法进行清洗，一方面是要去除玻璃基板上：沾染的污染物，避免其对液晶显示器的性能造成不良的影响，另方面也可以起到改善玻璃基板表面性能，增加其与加工过程中使用的各种材料之间的亲合力。中，可通过将清洗液加压到３ＭＰａ～３２．５ＭＰａ的压力，再通过孔径为几百微米的微孔喷射嘴喷出，形成高流速的微小液滴来清洗玻璃基板。这一技术提高了喷淋清洗的洗净力，缩短了清洗线的长度，节省了净化空间和ＤＩ水的使用量¨Ｊ。１超高压清洗技术的工艺【２－４】现在，ＬＣＤ显示器生产过程中，要多次用到清洗工艺，如，涂胶前对ＩＴＯ玻璃的清洗、显影后对玻璃基板的清洗以及磨擦工艺后对玻璃基板的清洗等。据统计在整个液晶显示器的制备工艺中，清洗工艺的工作量占到了总工作量的３００，６～４０％。随着液晶显示技术的不断进步，清洗工艺也正越来越莺要地发挥着它的作用。图１是液晶显示器的生产流程简图，从中可以看到清洗工艺在整个工艺路线中所处的地位。收稿日期：２００９．０５．１４第一作者简介：韩宁宇．１９７９年生，男．山西阳泉人，２００２年毕业于太原理工大学机电一体化专业．助理工程师。·７６·；匝孤巫怔到盟Ⅱ咽；；广ｔ堕Ⅳｊ口也匹Ｍ夏丑回；‘ｉ匝非固恒珊暨堰咽ｉ：：：：１：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：：｜匾Ⅲ到噩肛班硇｜；慷灯检查ＨＩｃ邦定ＨＰｃＢ板接卜终检围Ｉ生产流程简图：二：：ｊ：－：：－：：二：：二：：二：：二：二：：二：：ｊ………………………‘Ｊ随着液晶生产线对清洗工艺要求越来越高，人万方数据２００９年第３期韩宁字，等：超高压清洗技术的应用２００９年６月们开发出了清洗效率更高更省水的清洗方法——超高压喷淋清洗。超高压微细颗粒水喷射清洗技术（ＨＰＭＪ）清洗，是把高压输送技术与ＤＩ水雾化技术相结合得到的产物。当ＤＩ水被雾化成极小的颗粒时，它的清洗效果更佳。这是因为水是一种表面张力很大的液体，因此，它在被清洗物体表面的润湿铺展性能较差，并使它的清洗性能受到影响。在使用一般的加压水喷射清洗时，喷射到玻璃基板上的水，在其高表面张力的作用下，会在玻璃简板表面形成一层水膜。水膜覆盖了基板表面上的微细颗粒和其他污垢反而会对他们起到“保护作用”，使后续的喷射水很难将这层水膜冲破，所以会使清洗的效率降低。超高压水喷射技术是针对这一难题开发出来的新型的清洗技术。超高压微细颗粒水喷射清洗，将水形成大量的粒径在几微米到几十微米的微细液滴，并以极高的速度和密度连续地喷射冲击被清洗物表面。由于这种微细颗粒的水滴不可能形成对污垢有保护作用的水膜，所以对基板上的各种污垢特别是微细颗粒污垢有很好的去除效果。２３图２清洗时徽细液滴微观照片结语超高压喷淋清洗方式与以前的传统的清洗方式相比较具有对清洗的物件损伤较小、不会对清洗物造成二次污染和ＤＩ水用量小等优点。其中省水的优点更是显著，它的喷嘴每分钟只有小于一升的用水量，这样就能很大程度上降低清洗线的ＤＩ水用量，并由于它清洗的高效率也使得清洗线的长度很大程度节省了净化空间。这些优点将使的超高压清洗成为ＬＣＤ清洗工艺中更先进更有效的清洗工艺，它将在很大程度上弥补传统清洗工艺的不足。参考文献：【１］黄锡珉．液晶显示技术的开发和产业化——庆祝中国科学院长春光学精密机械与物理研究所建所５０周年ＨＰＭＪ喷射的效果对喷射压力为１０ＭＰａ，喷射距离为１００ｍｍ的状况进行试验，结果表明，从微孔喷射嘴喷出的清洗［Ｊ］．液晶与显示，２００２，１７（６）：４０３．４１５．［２］刘承桓．波晶显示器的清洗技术［Ｊ］．洗净技术，２００４（３）：３８．４７．液在空气中运行时，与空气发生碰撞后进一步微细化。对其粒径的统计表明，其平均粒径为３４．５２×ｌＯ—ｍｍ，在到达距离喷嘴１００ｍｍ的基板时，速度为４０ｍ／Ｓ～５０ｍ／ｓ的微细水滴所占比例最大。只要通过压力调节就可以得到所需要粒径和速度的清［３］［４］刘承桓．液晶显示器的清洗技术［Ｊ］．洗净技术，２００４（４）：３８—４３．刘承桓．液晶显示器的清洗技术（三）［Ｊ］．洗净技术，２００４（５）：３５—４２．洗液滴，以达到所需要的清洗效果。图２为清洗时微细液滴微观照片＿７４Ｊ。（上接第５９页ｌ上工业项目起点高，节能降耗工作与经济总量大的地区相比难度较大。尽快摸清全省能源利用状况，分析把握节能潜力，算好“十一五”节能账。做大经济总量与减少能源消耗并重。尽快形成以政府为主导，以企业为主体，全社会共同推进的节能工作格局，打好攻坚战。在节能监察工作中，要处理好发展与节能的关系，对现有企业实施“有保、有限、有关”的三有政策，强化执法力度，落实节能责任，确保海南“十一五”节能目标的实现。罚力度，公开曝光违法行为。建立政府监管、社会监督和企业诚信机制。建立能够反映全省能耗水平，节能目标责任和评价考核制度的节能监测信息系统。督促重点耗能企业开展能源审计、编制节能规划、建立节能责任制、完善节能管理制度，对不按要求强化管理的企业，限期整改并向社会公布。组织重点耗能企业开展与国际国内同行业先进水平对标活动。促进企业节能：【作上水平、上台阶。海南在处于工业化发展的初期，经济总量小，新·７７·万方数据超高压清洗技术的应用
作者：作者单位：刊名：英文刊名：年，卷(期)：被引用次数：
韩宁宇， 杜立新， HAN Ning-yu， DU Li-xin北京清大天达光电科技有限公司,北京,100000山西能源与节能
SHANXI ENERGY AND CONSERVATION2009，\"\"(3)0次
1.黄锡珉 液晶显示技术的开发和产业化--庆祝中国科学院长春光学精密机械与物理研究所建所50周年[期刊论文]-液晶与显示 2002(06)
2.刘承桓 波晶显示器的清洗技术[期刊论文]-洗净技术 2004(03)3.刘承桓 液晶显示器的清洗技术[期刊论文]-洗净技术 2004(04)4.刘承桓 液晶显示器的清洗技术(三)[期刊论文]-洗净技术 2004(05)
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