专利名称：一种可无线通讯植入式压力传感器的结构及制备方
法
专利类型：发明专利
发明人：黄向向,杨敏,道格拉斯·雷·斯巴克斯,关健,陈琳申请号：CN202010343699.7申请日：20200427公开号：CN111407251A公开日：20200714
摘要：一种可无线通讯植入式压力传感器的结构，包括两片相匹配的、与人体生物兼容的玻璃晶圆作为压力传感器基材，L‑C振荡位于电路通过两片玻璃晶圆通过阳极键合形成密封的空腔中，形成可感应绝对压力变化的薄膜层，在空腔内加入吸气层。一种可无线通讯植入式压力传感器的结构的制备方法，电感作为天线来感知外部的无线信号，一个外部的读取器是用来测量L‑C振荡频率，从而测量压力，对一片玻璃晶圆进行了减薄，形成可感应绝对压力变化的薄膜层。本发明的优点：芯片从晶圆上切割下来之后，可以在边缘预留的位置做钛引线。压力传感器可以在医学中得到应用，测得心脏、头部、脊髓和膀胱中的血液、尿、脊液的压力值，也可用于工业腔室的压力值测量。
申请人：罕王微电子(辽宁)有限公司
地址：113000 辽宁省抚顺市经济开发区北厚西出口21#楼(一层)
国籍：CN
代理机构：沈阳晨创科技专利代理有限责任公司
代理人：张晨
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