专利名称：薄膜沉积设备专利类型：发明专利发明人：马浩烈,李载昱申请号：CN201210279825.2申请日：20120807公开号：CN103074579A公开日：20130501
摘要：本发明公开了一种薄膜沉积设备。该设备包括：沉积源，其存储沉积材料并将沉积材料排放到玻璃面板上；温度控制器，其设置成邻近玻璃面板，并控制玻璃面板的温度或玻璃面板附近区域的温度；以及隔间，其包含沉积源和温度控制器。温度控制器将玻璃面板和玻璃面板附近区域的温度维持在适当温度，从而引导沉积材料有效率地沉积到玻璃面板上，因此提高了形成在玻璃面板上的薄膜的沉积效率和均匀性。
申请人：塔工程有限公司
地址：韩国庆尚北道
国籍：KR
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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