专利名称：破裂检测机构专利类型：实用新型专利发明人：刘文明,陈薇云申请号：CN201420468448.1申请日：20140819公开号：CN204086159U公开日：20150107
摘要：一种破裂检测机构，应用于玻璃及晶圆剥离后破裂状态的检出，该玻璃及该晶圆的间定义为一检测位置，该破裂检测机构包括一转动件、至少一传感器及一第一驱动装置。传感器设置于转动件上，转动件连接于第一驱动装置，第一驱动装置能驱动转动件转动，转动件、传感器及第一驱动装置能移入及移出检测位置；由此，可用于板材(如玻璃、晶圆)破裂状态检出，且可降低成本，并使检测功能提升。
申请人：弘塑科技股份有限公司
地址：中国台湾新竹市
国籍：CN
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
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