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提尚铝箔真空退火炉抽空效率的措施研究
杨晓敏邵文庆
(永城职业学院，永城476600)
摘
要：通过对4.5t级电子铝箔退火炉真空系统的细致有效分析，联系生产实际，探讨其抽真空效率低下的
提高措施。
关键词：退火炉效率真空系统
引言
4. 5t级铝箔真空退火炉，在使用过程中尤其是初次运 行时会出现运行不正常的情况。每生产一炉次退火料会消 耗70〜80h，而抽真空就需要12〜30h。此时，需要通过 厂方调试人员、车间生产人员和修理人员的多方努力，方 可运行正常。下面通过研宄4. 5t级电子铝箔退火炉抽空效 率，探讨其抽真空效率低下的提筒措施。1 4.5t级铝箱退火炉抽真空的工作原理
真空退火炉的工艺性质是指在无氧环境中即完全无氧
情况下，使得电子铝箔的塑性和韧性得以提髙而硬度降低 的方法。本次分析的4. 5t退火炉的整个生产工艺流程可划 分成9个典型阶段，分别是备料阶段、装料阶段、抽真空 阶段、充氩气阶段、加热料卷阶段、换气阶段、保温料卷阶段、 快冷阶段、出炉阶段而最重要的阶段是抽真空阶段。 本阶段，真空炉体内的真空度要达到工作真空6. 7E-2Pa， 炉内的料卷才可以充氩气进行加热。
图1为4. 5t级抽真空退火炉工作原理图。抽真空大致 包括粗抽和精抽两个环节。
5J1S棚•
安全阀
手动充气阀
电离规
电阻规3
自动 ，放气阀
粗抽阀A
foilcol
/ ~风门及涡轮传动
heatexchanger
阀nUii阀
A2 A3
旋片泵A1旋片泵A2旋片泵A3
式步进电动机
通导截止阀
通导电磁阀
旋片泵B1 旋片泵B2
图
1
真空退火炉工作原理图
粗抽环节可以将炉体内的大部分空气抽走，压力可达 到10Pa。在粗抽环节中，一般需要同时打开两个回路，分 别是主回路和辅助回路，以在很大程度上提髙生产效率， 减少抽空时间。具体的，主回路指炉体（包括料卷）一真 空插板阀一过滤器A —粗抽阀A — A组电磁压差阀一A组 真空旋片泵；辅助回路指炉体一粗抽阀B—过滤器B — B 组电磁压差阀一B组真空旋片泵[1]。
上述环节结束后，即进入精抽环节，精抽环节中增压 泵中油温此时可以达到2200C。该环节中的回路指：炉体（包 含料卷）一高真空插板阀一精抽阀一冷阱一增压泵一前级 阀一A组电磁压差阀一A组真空旋片泵[1]。精抽阶段在不 出现意外的情况下，应12小时以内达到工作真空6. 7E-2Pa，
从而为退火提供无氧环境。2
抽真空效率低下的提高措施
目前，结合生产实际，抽真空效率低下有多方面因素， 总结如图2所示。
通过分析产生真空退火炉抽真空时效率低下的因素图， 结合生产实际和维修劳动成果，延长修理周期，切实提高 设备运行效率和生产率，采用下面的有效机制和提高措施。 2.1
对真空炉进行减振处理
为了减轻或消除密封问题，不定时检查设备，特殊处 理旋片泵和增压泵，根据实际情况增设钢板或者垫片。增 加垫片可以大大改善因机组运行过程中产生的振动而导致 螺栓松动使密封性减弱的缺陷，钢板加固支撑可以增加其
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现代制造技术与裝备
2017第1期总第242期
设备的抗振性能。
图
2
真空炉抽空效率低下的因素图
2.2加强管理真空炉的油品
应严格管控真空炉用油品，力求做到全方位监控，并 能及时获取管控反馈。货源是油品最初始最重要的环节， 务必完善考察，尽可能做到在油品货源地直接采购，以防 出现假冒伪劣，以保货源质量可靠。结合油品货源地的提议， 尽量对油品进行逐步统一。
对真空炉油品建立定期的化验制度和报废标准。目前， 预定为每生产4炉次为一个周期。对真空泵中油、增压泵 中油、扩散泵中油，从色泽、气味、粘度、水分、杂质等 方面细致分析，找出影响其性能的主要原因，同时针对原 因采取相应的有效对策。
对真空炉中增压泵油，油液变质需要严格管控处理。(1)准确操作防止出错：如需要进行粗抽时因误操作打开 了精抽阀门，或因放气阀在精抽过程中误开导致精抽失败； 严控维持泵的维持压力，髙温状态时不能忘记关闭精抽阀 更换电离规管，且在更换后务必保证管内不能留有空气， 以防油品氧化。（2)准确维护操作：因为丙酮在查漏过程 中容易造成〇型圈的腐蚀，所以尽可能避免选用丙酮检漏 仪，应选用对其腐蚀性为零的氦质谱检漏仪；进行紧固时， 避免用力过猛，根据实际需要选择合适力矩。（3)阀门控 制精准：阀门的开与关必须准确控制，严防控制失准，尤 其在精抽时不能因阀门失控而导致油品变质W。2.3加强管理密封元件
在设备的密封系统中，严格控制密封元件的采购、管 理与使用。髙温部件和低温部件使用的橡胶是分类的。要 杜绝混用或用错，否则易造成浪费甚至密封失效现象。此外， 要严格杜绝不合格密封元件进厂，以免降低生产效率。2.4加强检查清洗机的出料带油
清洗机出料带油量是强制性指标，如带油过多未能对 其深度清洗，则容易造成增压泵里的油品污染，从而降低 油品质量。要完善清洗工艺，通过加风刀，在厚箔剪开卷 机后，提髙表面残油的吹干率。2.5加强真空炉的日常维护和定期检查
要严格细化设备的维护保养和检查整修，明确周期及
整修内容。检查设备各部件的运行是否灵敏正常，确保各 阀门及管道密封性完好；定期采用安全气体对整个系统进 行安全性、密封性检验，确保设备的正常运转，以防元件 动作不到位等现象[3]。目前，可暂定4炉次为一个检查周期， 或者在生产中抽真空时间超过6小时才能达到真空度要求。 2.6优化真空炉操作
料卷务必保证光洁度，不允许表层被氧化，所以上架 前务必采用拋光工艺；在整个加热保温冷却过程中，为避 免油蒸汽对增压泵油产生影响，务必关闭插板阀门[3]。插 板阀和精抽阀在炉体精抽后应关闭，这时机组会持续抽真 空1〜2h。优化炉膛以及炉胆清理方案、材料、工具，如 为了缩短炉膛清理时间，提髙工作效率，可采用自制的拉
炉胆轨道。3
加强真空炉管理效果
在车间生产人员、维修人员和厂方调试人员的共同努 力下，真空炉的保养维护工作得到了可靠保证。真空炉的 抽真空效率得到了明显提髙，主要体现为：真空炉原本抽 空时间需要12〜30h，现在缩短到8〜10h，且抽真空 能力也能满足生产需要，大大提高了油液氧化周期。原来 一个月就会出现氧化污染，现在近一年才能出现一次。真 空炉生产炉次从原来的每月5〜8炉次，逐步提高到每月 8〜11炉次。从以上几方面可以看出，目前生产效率显著 提高，产量明显增加，效益凸显。4
结语
当前，生产厂家生产或企业多采购系统技术比较先进。4. 5t级真空炉具备诸多优点，但在具体设计环节和细节、 抽真空能力等方面存有一些不足。通过对整个操作系统的 升级改造，加强日常管理和定期维护，真空炉的抽真空能 力显著提升，设备运行稳定性得到加强，有效提高了真空 炉的生产效率。
参考文献
[1] 黄奇.如何提髙铝箔真空退火的抽空效率[J].热处理， 2012， 27 (2).
[2] 骆定柞.油扩散泵的维修[J].真空，2003，（4).
[3] 温碧湘.沈阳恒星4. 5吨真空退火炉操作规程[M].沈阳：沈
阳真空设备厂，2007.
Furnace Vacuum Efficiency of Aluminum Foil
Study on Measures to Improve Vacuum Annealing YANG Xiaomin, SHAO Wenqing(Yongcheng Vocational College, Yongcheng 476600) Abstract: vacuumBased on the detailed and effective analysis of the system of the electronic aluminum foil annealing furnace of 4.5 ton level, the measures of improving the areinvacuuming efficiency discussed connection with the production practice.
Key words： annealing furnace, efficiency, vacuum system
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