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铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置[实用新型专利]

来源:小奈知识网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置专利类型:实用新型专利发明人:李巍,刘兴江,方小红,李微申请号:CN200920252219.5申请日:20091229公开号:CN201655826U公开日:20101124

摘要:本实用新型涉及一种铜铟镓硒太阳电池缓冲层制备装置,由两端带有放卷架和收卷架的传送带、位于传送带上方的镀液喷淋装置、清洗装置及干燥箱构成;镀液喷淋装置由相互垂直并内路相通的镀液出泵管道和导液管构成,镀液出泵管道通过增压计量泵连接镀液进泵管道,导液管上固装有镀液喷嘴;清洗装置由带有清洗喷嘴的去离子水出泵管道,通过水泵与去离子水进泵管道连接为一体。本实用新型采用喷淋法制备铜铟镓硒太阳电池缓冲层,利用动态结晶原理,采用喷嘴对传送带上的衬底进行立体状态喷淋镀液,极大提高了生产效率;采用增压计量泵,镀液喷淋量得以控制,使喷淋后得到的II-VI族化合物薄膜厚度、均匀度、致密度得到保障,并且成本低,重复性好。

申请人:中国电子科技集团公司第十八研究所

地址:300381 天津市南开区李七庄凌庄子道18号

国籍:CN

代理机构:天津盛理知识产权代理有限公司

代理人:王来佳

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