专利名称：三维图形检测装置及测量方法专利类型：发明专利发明人：张鹏黎,王帆
申请号：CN201310294767.5申请日：20130712公开号：CN104279978A公开日：20150114
摘要：本发明公开了一种三维图形检测装置及测量方法，该装置包括：照明投影模块，用于产生探测光束及参考光束，并将探测光束投影到所述待测样品表面；参考成像模块，包括一参考平面，所述参考成像模块用于收集投射到所述参考平面处的所述参考光束，以产生参考光光强分布信号；探测成像模块，用于收集待测样品表面的反射及衍射光，以产生探测光光强分布信号；以及控制处理模块，用于将所述探测光光强分布信号与参考光光强分布信号进行强度关联运算，获取待测样品表面形貌参数。本发明采用传统的成像探测方式，收集待测硅片的零级反射光和各级衍射光，不需空间滤光，提高光能利用效率；实现大视场的照明，探测光斑能覆盖多个表面形貌，提高检测效率。
申请人：上海微电子装备有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容