全谱图分析（主要是鉴别峰）
（1） 打开全谱图，选择文件类型vgd
（2） 鉴别谱峰，手动（
手动鉴别峰（
量范围）
），自动（
，
）
），可以选择根据元素鉴别峰，也可以选择根据能
选择自动分析，会自动生成标好的各个峰。择XPS位置容差、俄歇位置容差等参数。
是自动峰鉴别，可以选
不论采用上面三种中的那种鉴别峰的分析，软件都会自动计算出原子
百分比、面积CPS等参数，感觉不太有用，有些峰的面积会被计算为负的，有些峰的原子百分比会被算为0。自动鉴别谱峰，会得到不需要的结果，而手动鉴别谱峰可以根据实际情况选择性的添加谱峰。
（3） 能量校正
根据标出的C1S峰的能量对峰进行能量校正，可以用软件的快捷键
电荷偏移，将C1S的能量校正为285ev，用此软件校正的能量有误差，还可以用origin软件进行能量的校正。
在图像上点击右键，用copy active cell，导出数据文件，后保存为txt格式，将文件导入到origin软件中，对Binging Energy列的数据进行处理，即可达到希望的能量校正。
9. 单元素谱峰的分析
(1).数据平滑处理：Savitzky-Golay, 高斯或傅立叶，使用工具栏中的
选择傅里叶平滑处理
（2）去底与峰拟合，选择smart去底法，根据元素的化学环境确定拟合峰的
个数，对峰进行拟合。
（4） 校正荷电位移，在本例中选择Si衬底的能量97.8ev作为参考能量。
同样采用此软件校正的能量具有误差。
（5） 关于counts与counts/s，基本上论文中出现的都是counts，因此点击
（6） 刻蚀时间的调整，在最下方的工具栏内调整，如上图。
（7） 去掉拟合残留，点击右键，选择Display Options,勾选Show Residuals.
（8） copy active cell，粘贴到txt文件中，再导入到origin软件内
（9） 点此空格，即可全选中数据，右键plot-line，即可画出曲线
（10） 点击下图圈的键，即可实现line和line+symbol的转换
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