专利名称：金属氟氧化物的处理方法及清洁方法专利类型：发明专利发明人：长友真圣,八尾章史申请号：CN201880041939.9申请日：20180531公开号：CN110799666A公开日：20200214
摘要：本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MOF(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。
申请人：中央硝子株式会社
地址：日本山口县
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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